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Xtreme 三次元
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產品說明

l   突破傳統直角座標系統結構,採用線性馬達精密萬向軸承,建立平行六連桿運動機構,以達到快速精準的量測動作。

l   內建溫度控制裝置,確保不受環境溫度影響。

l   佔地面積小,節省空間。

l   使用三次元有如分厘卡簡單。

產品規格

型式

350

500

各軸行程(mm)

X:300

Y:300

Z:200

X:400

Y:400

Z:270

機台大小(mm)

X:790

Y:900

Z:2030

X:905

Y:1140

Z:2195

光學尺解析度

0.5µm

0.5µm

平台結構

花崗岩

花崗岩

最大移動速度

500mm/sec

500mm/sec

最大移動加速度

750mm/sec2

750mm/sec2

空氣消耗量

無須氣壓

無須氣壓

所需空氣壓力

無須氣壓

無須氣壓

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