l 突破傳統直角座標系統結構，採用線性馬達精密萬向軸承，建立平行六連桿運動機構，以達到快速精準的量測動作。
l 內建溫度控制裝置，確保不受環境溫度影響。
l 佔地面積小，節省空間。
l 使用三次元有如分厘卡簡單。
型式
350
500
各軸行程(mm)
X:300
Y:300
Z:200
X:400
Y:400
Z:270
機台大小(mm)
X:790
Y:900
Z:2030
X:905
Y:1140
Z:2195
光學尺解析度
0.5µm
平台結構
花崗岩
最大移動速度
500mm/sec
最大移動加速度
750mm/sec2
空氣消耗量
無須氣壓
所需空氣壓力
無須氣壓’
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