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AIS 主動防振系統
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產品說明
隨著奈米時代的來臨,許多科技產業對精密度的要求已經從微米(micrometer),次 微米 (sub-micrometer)到奈米(nanometer)等級。環境的影響也越來越明顯。除了溫度影響外,振動會是首先必須面對的問題。

德國 BILZ公司以40年的防振實務經驗,研發出氣電控制主動防振系統 AIS (Active Isolation System)。


AIS的推出已實際有效協助各科技產業解決所面臨的振動問題,如半導體、精密雷射切割、面板檢驗、電子顯微鏡、精密光電等產業。
產品規格

■ AIS 主動防振系統產品的特點

  1. 主動式氣電控制,可同時控制六個自由度。
  2. 最佳化防振效果,沒有共振問題。
  3. 水平與垂直向定位精密度高。
  4. 穩定時間超短,定位速度快。
  5. 沒有熱源,不會產生磁場,耗電低。
  6. 專有的感測控制器,結合位移、加速度、氣壓等精密感測器和控制微處理器於一體。直接感測控制每個自由度,可達到即時控制,效率極高。

■ AIS主動防振系統的使用時機:

  1. 防振要求等級非常高,如VC-E。
  2. 設備水平定位精度要求高並要快速穩定。
  3. 避免共振影響。

■ AIS主動防振系統的產品規格:需由使用端提供資料與環境測試再評估。

 使用範例
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