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AIS 主動防振系統

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產品說明

隨著奈米時代的來臨，許多科技產業對精密度的要求已經從微米(micrometer)，次微米 (sub-micrometer)到奈米(nanometer)等級。環境的影響也越來越明顯。除了溫度影響外，振動會是首先必須面對的問題。

德國 BILZ公司以40年的防振實務經驗，研發出氣電控制主動防振系統 AIS (Active Isolation System)。

AIS的推出已實際有效協助各科技產業解決所面臨的振動問題，如半導體、精密雷射切割、面板檢驗、電子顯微鏡、精密光電等產業。

產品規格

■ AIS 主動防振系統產品的特點

主動式氣電控制，可同時控制六個自由度。
最佳化防振效果，沒有共振問題。
水平與垂直向定位精密度高。
穩定時間超短，定位速度快。
沒有熱源，不會產生磁場，耗電低。
專有的感測控制器，結合位移、加速度、氣壓等精密感測器和控制微處理器於一體。直接感測控制每個自由度，可達到即時控制，效率極高。

■ AIS主動防振系統的使用時機：

防振要求等級非常高，如VC-E。
設備水平定位精度要求高並要快速穩定。
避免共振影響。

■ AIS主動防振系統的產品規格：需由使用端提供資料與環境測試再評估。

使用範例

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